B站直播看片被发现❌的VTUBER🚩BROOKS 質量流量控制器 GP200系列 - 流量計

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BROOKS 質量流量控(kòng)制器 GP200系列簡介(jie)
所有的表現。沒(mei)有任何限制。
GP200 系(xi)列是第一款完(wán)全不敏感的基(ji)于壓力的質量(liàng)流量控🔱制器📧 (P-MFC)，專(zhuān)為半導體制造(zao)中的先進蝕刻(kè)和沉積😍工藝而(er)設計。
GP200 系列 P-MFC 采用(yòng)技術架構，克服(fu)了傳統 P-MFC 的局限(xian)性，即使在輸㊙️送(song)低蒸氣💔壓工藝(yì)氣體時也能提(tí)供最精确的工(gōng)藝氣體輸送。它(ta)包括幾個獨特(te)的設計方面，包(bao)括與下遊閥門(men)架構♈相結合的(de)集成🏃🏻‍♂️壓差傳㊙️感(gǎn)器，可在行業中(zhōng)最廣泛的操作(zuò)條件下實現最(zui)精确的工藝氣(qi)💯體輸送。
由于 GP200 系(xi)列支持如此廣(guang)泛的工藝條件(jiàn)，它可以用作許(xu)👄多傳統 P-MFC 和熱 MFC 的(de)直接替代和升(sheng)級。它降低了氣(qi)體輸送系統的(de)複雜性和擁有(yǒu)成本，因為它消(xiao)除了對壓力調(diào)節器和傳感器(qi)等組件的需求(qiú)。

特征
真正的差(cha)壓測量
降低入(ru)口壓力運行
下(xià)遊閥門結構
匹(pǐ)配的瞬态響應(yīng)
零洩漏控制閥(fa)
MultiFlo TM技術提供了無(wú)與倫比的靈活(huo)性——一個設備可(kě)以針對數千種(zhǒng)不🌈同的氣體和(he)流量範圍配置(zhi)進行編程，而無(wú)🌈需從氣體管線(xian)中移除 MFC 或影響(xiang)精度
本地顯示(shi)顯示流量、溫度(du)、壓力和網絡地(dì)址
DeviceNet TM、EtherCAT®、RS-485 L-Protocol 和模拟接口(kǒu)
好處
通過消除(chu)匹配和補償兩(liang)個獨立壓力傳(chuan)感器的要求，GP200 差(chà)壓技術降低了(le)測量不确定性(xing)，從而提高了準(zhǔn)📧确性🌈、可重複性(xing)和漂移性能。
由(yóu)于專為低壓差(chà)測量而優化的(de) GP200 差壓傳感器，現(xian)在使🔅用🧑🏽‍🤝‍🧑🏻 P-MFC 可以在(zai)較低的入口壓(yā)力下實現更安(an)全的晶圓廠操(cāo)作。
下遊閥門結(jié)構确保精度獨(dú)立于下遊壓力(lì)，使流量輸送到(dao)高達 1200 Torr 的壓力。快(kuài)速關閉閥門解(jiě)決了上遊 MFC 閥🚩門(mén)設計中出現的(de)非生産性配方(fang)等待時間或“尾(wei)部效應”，這些閥(fa)門🌈需要額外的(de)時間來排🏒出其(qí)内部氣體體積(ji)。
超快、高度可重(zhòng)複的上升和下(xià)降流動穩定時(shi)間可✊在先🏃進的(de)高🎯循環沉積和(he)蝕刻工藝中實(shí)現更嚴格的工(gong)藝控制。
閥門關(guān)閉性能提高 100 倍(bei)
使用 MultiFlo TM，MFC 滿量程流(liú)量範圍通常可(kě)以按 3:1 的系數重(zhòng)新按比例縮小(xiǎo)，而不會影響精(jīng)度、量程比或規(gui)格洩漏，以實現(xiàn)最佳工藝和庫(ku)存靈活性
方便(bian)的用戶顯示和(he)獨立的診斷/服(fú)務端口有助于(yú)設備安裝、監控(kong)和故障排除
主(zhu)要應用
半導體(ti)制造
蝕刻
化學(xué)氣相沉積 (CVD)
需要(yào)高純度全金屬(shǔ)流路的氣流控(kòng)制應用

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